미래지향적인 기술력으로 끊임없이 도전하는 기업
Nextrema는 극한의 조건에서 설계되고 디자인된 글라스 세라믹으로 유리와 같은 매끈한 외관에 뛰어난 열적, 화학적, 광학적 특성을 가지고 있습니다.
극히 낮은 열팽창 유리 세라믹 Zerodur는 잔류 유리 상 내에 고르게 분포된 나노 결정이 특징인 무기, 비다공성 리튬 알루미늄 산화규소 글라스 세라믹입니다.
세밀한 첨단 응용 분야에 매우 높은 정밀도를 제공하여 IC (Interated Circuit) 및 FPD (Flat Panel Display) 리소그래피, 고정밀 계측 및 천문학, 온도 변화에서 가능한 한 기하학적 모양과 거리 변화를 최소화해야 하는 부분에 적합한 글라스 세라믹 입니다.
CTE Grades | CTE (0°C; 50°C)* |
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ZERODUR® Expansion Class 2 | 0 ± 0.100 ppm/K |
ZERODUR® Expansion Class 1 | 0 ± 0.050 ppm/K |
ZERODUR® Expansion Class 0 | 0 ± 0.020 ppm/K |
ZERODUR® Expansion Class 0 SPECIAL | 0 ± 0.010 ppm/K |
ZERODUR® Expansion Class 0 EXTREME | 0 ± 0.007 ppm/K |
ZERODUR® TAILORED | Tailored ± 0.020 ppm/K (± 0.010 ppm/K upon request) Optimized for application temperature profile |
* CTE(0°C; 50°C)는 온도 범위에서 선형 열팽창의 평균계수를 나타냅니다.
알루미나(Al₂O₃)는 고도의 기술로 정제하여 만들어 지는 것으로 알루미나(Al₂O₃)를 80%이상 함유하는 것 만을 알루미나 세라믹스라고 하며 알루미늄의 산화물로, 실리카와 함께 세라믹스의 주요 재료로 사용됩니다.
알루미늄과 산소의 화합물인 '산화알루미늄'이라고 할 수 있습니다. 파인세라믹스용으로 널리 사용되는 고순도 알루미나는 일반적으로 99.5% 이상의 순도를 가지며, 평균 입자크기가 1㎛ 이하인 미세한 분말로서, 소결이 비교적 잘되는 알루미나 분말입니다.
실리콘 카바이드(SiC)는 LP-CVD공정에 이용되는 기존의 실리콘이나 석영소재에 비해 열전도성과 내식성, 내화학성이 좋고 열팽창률이 낮아 장기간 사용시에도 파손의 우려가 적은 화합물 소재입니다.