기술현황

미래지향적인 기술력으로 끊임없이 도전하는 기업

TECHNOLOGY기술현황

R&D

  • 기술현황
  • R&D

미래를 향한 준비,
창조적 가치 창출을 위해 연구소의 불은 꺼지지 않습니다.

R&D Value
  • 미래를 향한 준비, 창조적 가치 창출, 산 / 학 협력, 원천 기술 Leader
R&D Potential
  • Design / Simulation & Analysis / Experiment / Realization
R&D Performance
  • Intellectual Properties / New Heating System / Nitride Epitaxy System

진성큐엔에스 기술 연구소
연구 분야 PROJECT

Project
Q

Quartz / Ceramics
제조기술

Project
M

Quartz / Ceramics
측정 및 평가기술

Project
H

반도체 장비용
특수 Heater 개발

Project
E

박막 증착 및 Epitaxy
장비 개발

지적재산권 보유 현황

출원인명 PCT 출원번호 PCT 출원일 국내 특허 번호 국내 출원일 한글 명칭
㈜진성큐엔에스 10-2021-0018293
(출원번호)		 2021-02-09 유리판 강화 열처리용 카세트
천동희, 오충석
㈜진성큐엔에스		 PCT/KR2018/002774 2018-03-08 10-2017-0047189
(국내 우선권 번호)		 2017-04-12 화학 기상 증착용 반응기 및
이를 포함하는 화학 기상 증착 장치
천동희, 오충석
㈜진성큐엔에스		 PCT/KR2018/002773 2018-03-08 10-2017-0036204
(국내 우선권 번호)		 2017-03-22 웨이퍼 회전 장치
㈜진성큐엔에스 - - 10-1534190
(등록 번호)		 2013-08-23 기판 지지 장치
㈜진성큐엔에스 - - 10-2014-0094072
(출원 번호)		 2014-07-24 LAS 재활용 방법