제품소개
미래지향적인 기술력으로 끊임없이 도전하는 기업
제품소개
QUARTZ 사업부 제품
1반도체 - Oxidation / Diffusion / CVD 공정
- Tube 류 : Process Tube, Inner Tube, Double wall Tube
- Boat 류 : Quartz Boat
- Assembly : Pedestal Base, Quartz Cap, Plate
- Bath 류 : Bath
- Nozzle 류 : Nozzle류, Tank류, Hot Di Bottle, Chamber
- 기타 : 각종 Injector류
2반도체 - Cleaning (Wet station) 공정
- Robot Chuck, Guide, Bath
3반도체 - Dry Etch/ Wet etch
- Pedestal ring, Shield Ring, Plate류
4태양광 전지 제조공정 - Oxidation / Diffusion / Wet cleaning
- Solar Boat, Bath, Chamber, Baffle, Process Tube
5LCD, LED 제조공정
- Plasma Tube, Ladder, Cross bar, support
6기타 QUARTZ 제품
- 그 외 독자적인 기술력으로 각종 주문 제품을 제작 생산하고 있습니다.
Quartz Bath
Quartz Bath
Quartz Bath
Quartz Chuck
Wafer Guide(8”)
Wafer Guide(12”)
Lift (Quartz Arm)
Boat
Quartz Boat
Ball Socket
Quartz Bottle
Quartz Cap
Quartz Bottle
Quartz Tube
Heater Tube
Quartz Cover
Door Baffle
Quartz Nozzle
Quartz Nozzle
Quartz Nozzle
Quartz Boat
Heater Cover
CERAMIC 사업부 제품
1Nextrema 글라스 세라믹
최대 950 ℃의 작동 온도, 0에 가까운 열 팽창, 열 충격 저항, 넓은 투과율 스펙트럼, 표면 저항 및 가스 불 투과성, 공정 불활성, 높은 온도에서의 견고성 등의 특성을 제공합니다.
- Plate, Insulation
2Zerodur 글라스 세라믹
Zerodur는 0에 가까운 초저 열팽창 계수와 우수한 재료 균질성을 가지고 있습니다.
글라스 세라믹은 정밀 광학의 제작과 우주 기술, 과학 및 연구 분야의 까다로운 응용
분야를 가능하게 합니다.
- OTC Receptacle, NTI Receptacle
3알루미나[Al2O3]
세라믹 소재 중 가장 일반적인 재료이며 우수한 내마모성과 내식성, 내화학성, 단열성, 내열성 및 기계적 강도가 뛰어난 장점을 가지고 있습니다.
- Plate, Injector, Disk, Nozzle, Shield Ring, Ceramic Ring
4탄화규소[SiC]
공유결합으로 이루어진 탄화물 계열의 세라믹으로서 경도가 매우 크기 때문에 연마제로 이용되고 내마모성, 내화학성, 내식성, 열전도성이 크고 열팽창이 작고 열 충격에는 잘 견디는 장점이 있습니다.
- Paddle, Pin, Rod, Disk